DRK8090 ഫോട്ടോ ഇലക്ട്രിക് പ്രൊഫൈലർ

ഈ ഉപകരണം നോൺ-കോൺടാക്റ്റ്, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫേസ്-ഷിഫ്റ്റിംഗ് ഇൻ്റർഫെറോമെട്രിക് മെഷർമെൻ്റ് രീതി സ്വീകരിക്കുന്നു, അളക്കുന്ന സമയത്ത് വർക്ക്പീസിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിന് കേടുപാടുകൾ വരുത്തുന്നില്ല, വിവിധ വർക്ക്പീസുകളുടെ ഉപരിതല മൈക്രോ-ടോപ്പോഗ്രാഫിയുടെ ത്രിമാന ഗ്രാഫിക്സ് വേഗത്തിൽ അളക്കാനും അളവ് വിശകലനം ചെയ്യാനും കണക്കുകൂട്ടാനും കഴിയും. ഫലങ്ങൾ.

ഉൽപ്പന്ന വിവരണം
സവിശേഷതകൾ: വിവിധ ഗേജ് ബ്ലോക്കുകളുടെയും ഒപ്റ്റിക്കൽ ഭാഗങ്ങളുടെയും ഉപരിതല പരുക്കൻ അളക്കാൻ അനുയോജ്യം; ഭരണാധികാരിയുടെയും ഡയലിൻ്റെയും റെറ്റിക്കിളിൻ്റെ ആഴം; ഗ്രേറ്റിംഗ് ഗ്രോവ് ഘടനയുടെ പൂശിൻ്റെ കനം, കോട്ടിംഗ് അതിർത്തിയുടെ ഘടന രൂപഘടന; കാന്തിക (ഒപ്റ്റിക്കൽ) ഡിസ്കിൻ്റെ ഉപരിതലവും കാന്തിക തലയുടെ ഘടനയും അളക്കൽ; സിലിക്കൺ വേഫർ ഉപരിതല പരുക്കനും പാറ്റേൺ ഘടന അളക്കലും മുതലായവ.
ഉപകരണത്തിൻ്റെ ഉയർന്ന അളവെടുപ്പ് കൃത്യത കാരണം, ഇതിന് കോൺടാക്റ്റ് അല്ലാത്തതും ത്രിമാന അളവെടുപ്പിൻ്റെ സവിശേഷതകളും ഉണ്ട്, കൂടാതെ കമ്പ്യൂട്ടർ നിയന്ത്രണവും ദ്രുത വിശകലനവും അളക്കൽ ഫലങ്ങളുടെ കണക്കുകൂട്ടലും സ്വീകരിക്കുന്നു. ഈ ഉപകരണം എല്ലാ തലത്തിലുള്ള ടെസ്റ്റിംഗ്, മെഷർമെൻ്റ് റിസർച്ച് യൂണിറ്റുകൾ, വ്യാവസായിക, മൈനിംഗ് എൻ്റർപ്രൈസ് മെഷർമെൻ്റ് റൂമുകൾ, പ്രിസിഷൻ പ്രോസസ്സിംഗ് വർക്ക്ഷോപ്പുകൾ, കൂടാതെ ഉന്നത പഠന സ്ഥാപനങ്ങൾക്കും ശാസ്ത്ര ഗവേഷണ സ്ഥാപനങ്ങൾക്കും അനുയോജ്യമാണ്.
പ്രധാന സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ
ഉപരിതലത്തിലെ സൂക്ഷ്മ അസമത്വത്തിൻ്റെ ആഴം അളക്കുന്നു
തുടർച്ചയായ പ്രതലത്തിൽ, ഉയരം ഇല്ലെങ്കിൽ, രണ്ട് അടുത്തുള്ള രണ്ട് പിക്സലുകൾക്കിടയിൽ 1/4 തരംഗദൈർഘ്യത്തിൽ കൂടുതൽ പെട്ടെന്നുള്ള മാറ്റം: 1000-1nm
രണ്ട് അടുത്തുള്ള പിക്സലുകൾക്കിടയിൽ തരംഗദൈർഘ്യത്തിൻ്റെ 1/4-ൽ കൂടുതൽ ഉയരം മ്യൂട്ടേഷൻ ഉണ്ടാകുമ്പോൾ: 130-1nm
അളക്കലിൻ്റെ ആവർത്തനക്ഷമത: δRa ≤0.5nm
ഒബ്ജക്റ്റീവ് ലെൻസ് മാഗ്നിഫിക്കേഷൻ: 40X
സംഖ്യാ അപ്പെർച്ചർ: Φ 65
ജോലി ദൂരം: 0.5 മിമി
ഇൻസ്ട്രുമെൻ്റ് ഫീൽഡ് വിഷ്വൽ: Φ0.25mm
ഫോട്ടോ: 0.13×0.13 മിമി
ഇൻസ്ട്രുമെൻ്റ് മാഗ്‌നിഫിക്കേഷൻ വിഷ്വൽ: 500×
ഫോട്ടോ (കമ്പ്യൂട്ടർ സ്‌ക്രീൻ നിരീക്ഷിച്ചത്)-2500×
റിസീവർ മെഷർമെൻ്റ് അറേ: 1000X1000
പിക്സൽ വലുപ്പം: 5.2×5.2µm
അളക്കൽ സമയ സാമ്പിൾ (സ്കാനിംഗ്) സമയം: 1S
ഇൻസ്ട്രുമെൻ്റ് സ്റ്റാൻഡേർഡ് മിറർ പ്രതിഫലനക്ഷമത (ഉയർന്നത്): ～50%
പ്രതിഫലനം (കുറഞ്ഞത്): ～4%
ലൈറ്റിംഗ് ഉറവിടം: ഇൻകാൻഡസെൻ്റ് ലാമ്പ് 6V 5W
പച്ച ഇടപെടൽ ഫിൽട്ടർ തരംഗദൈർഘ്യം: λ≒530nm
പകുതി വീതി λ≒10nm
പ്രധാന മൈക്രോസ്കോപ്പ് ലിഫ്റ്റ്: 110 എംഎം
ടേബിൾ ലിഫ്റ്റ്: 5 എംഎം
X, Y ദിശകളിലെ ചലന ശ്രേണി: ～10 mm
വർക്ക്ടേബിളിൻ്റെ ഭ്രമണ ശ്രേണി: 360°
വർക്കിംഗ് ടേബിളിൻ്റെ ടിൽറ്റ് ശ്രേണി: ±6°
കമ്പ്യൂട്ടർ സിസ്റ്റം: P4, 2.8G അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കൂടുതൽ, 1G അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കൂടുതൽ മെമ്മറിയുള്ള 17-ഇഞ്ച് ഫ്ലാറ്റ്-സ്ക്രീൻ ഡിസ്പ്ലേ